Читать реферат по антикризисному менеджменту: "Химическое жидкосное травление" Страница 8

(Назад) (Cкачать работу)

кремния. Другой травитель для моно- и поликристаллического кремния состоит из этилендиамина и пирокатехина и имеет энергию активации 8 ккал/моль: 2NH2(CH2)2NH2+Si+3Æ(OH)2 ®® 2H2+Si(ÆO2)3+2NH2(CH2)3NH3 (36) При добавлении к реагентам 1000 ppm (1 ppm=1часть на миллион) ароматического пиразина достигалось увеличение энергии активации до 11 ккал/моль и селективности травления плоскостей (100) и (111) с 10 до 20. Травление кремния применяется также с диагностическими целями для выявления точечных проколов SiO2. Кремний, легированный бором, травится медленнее нелегированного кремния. Рис. 15. Зависимость угла травления поликремния Q от содержания воды в травителе KOH/спирт/Н2О. Эффективность сглаживания поверхности поликремния в смеси KOH и спирта зависит от содержания воды в травителе. В безводных спиртах получаются изотропные профили. Степень анизотропии определяется содержанием воды в травители (рис. 15). Изотропные травители для кремния перечислены в табл. 6. Краткие сведения об анизотропных травителях для кремния приведены в табл. 7. Таблица 5. Изотропное и анизотропное травление кремния.

Травитель	Скоростьтравления,мкм/мин	Подтравливание(мкм/сторону)1)
	PS	ES	BS	PS	ES	BS
Изотропный2)Изотропный3)Анизотропный4)	30.80.7	40.60.9	40.51.1	1.5d1.0d(0.1-1.0)d	1.5d1.0d