подгонки параметров, при которых теоретическая и экспериментальная кривые отражения совпадают до пределов погрешности измерения.
Рис. 11. Соотношение прямой и обратной задач рефлектометрии [18]. Существует множество подходов к решению обратной задачи рефлектометрии. В настоящей работе был применен подход, описанный в работе [19]. 3. Экспериментальные методики .1 Измерение индикатрис рассеяния Для того чтобы извлечь из данных по рентгеновскому рассеянию как можно больший объем информации о статистических параметрах поверхностных шероховатостей, необходимо проводить измерения в как можно более широком интервале пространственных частот (νmin, νmax). С одной стороны, это означает, что необходимо регистрировать с большой точностью малые значения угловых перемещений в непосредственной близости от зеркально отраженного пучка. С другой стороны, необходимо надежно регистрировать предельно малые сигналы на далеких крыльях индикатрисы рассеяния, где интенсивность рассеянного излучения на пять и более порядков меньше, чем интенсивность падающего пучка. Для измерения параметров шероховатости применяется рентгеновский дифрактометр, созданный на базе гониометра двухкристального топографического спектрометра [20]. Рис. 12. Схема установки ДТСМ: 1 - рентгеновская трубка, 2 - апертурная щель, 3 - вакуумируемый узел параболического зеркала, 4 - трёхщелевой коллиматор первичного пучка, 5- кристалл-монохроматор Ge(220), 6- исследуемый образец, 7- вакуумный объем, 8- приемная щель детектора, 9- сцинтилляционный детектор. [20] Табл. 1. Основные параметры установки [23].
l | 0,154 нм |
Dl/l | » 8,36×10-4 |
Расходимость пучка »0,02° | |
Ширина падающего пучка d в поперечном направлении | 70-80 мкм |
Расстояние образец - детектор | 206 мм |
Источником излучения в дифрактометре является рентгеновская трубка типа БСВ41 с медным анодом. Рентгенооптический тракт дифрактометра включает коллимирующее параболическое зеркало, кристалл-монохроматор (германий, отражение 220, линия Cu , λ=0.15405 нм), трехщелевую систему коллимации. Регистрация отраженного и рассеянного излучения осуществляется сцинтилляционным рентгеновским детектором SCSD-4 (уровень шума
Похожие работы
Интересная статья: Быстрое написание курсовой работы