Читать диплом по информатике, вычислительной технике, телекоммуникациям: "Микроканальная пластина" Страница 4

(Назад) (Cкачать работу)

вытравливание опорной жилы НВЗ - изготовление вытравленных заготовок (ВЗ) МКП;

термоводородное восстановление (ТВВ) заготовок - изготовление очувствленных ОВЗ заготовок МКП;

металлизация торцов термическим испарением в вакууме;

операции очистки (до и после металлизации, по необходимости);

выходной контроль качества.

Все операции многозвенного техпроцесса сводят в этапы, а этапы в стадии:

.Стадия изготовления ТИМО, ШИМО, колб спекания.

.Стадия заготовительная: изготовление ОЖС, пучков ОЖС, МЖС, спеченных блоков МЖС.

.Стадия мехобработки, изготовления НВЗ.

.Стадия технохимической обработки, изготовления ВЗ.

.Стадия физико-термической обработки, изготовление, очистка ОВЗ, МЗ МКП.

.Стадия выходного контроля качества.

В технологии МКП большое значение имеют операции технического контроля качества продукции (промежуточные и финишные) и технологического контроля (режимов и условий осуществления техпроцессов).

Отличительные особенности принятого технологического метода:

микроканальная структура формируется в несколько этапов в ходе индивидуально-групповой обработки: вначале индивидуально изготавливают ОЖС, затем МЖС, и только после спекания МЖС в блок становится возможной групповая обработка пластин;

Рисунок 2 - Срез МЖС для сохранения круглой формы каналов, особенно по границам спекания, вводится вспомогательная опорная стеклянная жила, которая затем при обработке НВЗ МКП вытравливается (поэтому выбранный метод изготовления МКП часто называют методом УСЖ - удаление стеклянной жилы);

последовательное формирование микроструктуры с учетом требований высокой идентичности каналов существенно повышает требования к прецизионности техпроцессов изготовления ОЖС, МЖС, спекания и т. д.

своеобразная индивидуально-групповая обработка пластин с учетом требований по прецизионности технологии и идентичности свойств каналов имеет следствием особую организацию производства МКП;

требования высокой чистоты поверхностей и совершенства структуры МКП имеют следствием достаточно жесткие требования к уровню электронной гигиены (ЭГ) в производстве МКП.

Основные материалы в технологии отечественных МКП:

основное (рабочее) свинцово-силикатное (ССС) С87-2, из которого состоит МКВ, стенки каналов;

вспомогательное боратно-бариевое стекло С78-5 удаляемой при изготовлении ВЗ жилы;

свинцово-силикатное стекло монолитного обрамления С78-4.

Рисунок 3 - Схема стадий и этапов техпроцесса изготовления МКП

1.3 Требования к качеству МЖС в технологии МКП Микроструктура каналов микроканальной вставки МКП есть сумма микроструктур составляющих шестиугольную микроканальную соту (МКС). Она должна быть однородной и совершенной по рабочему полю зрения. Это означает следующее:

Искажение формы и размеров каналов отсутствуют, а геометрическая структура гексагена - из семи каналов, причем какие-либо структурны дефекты и искажения ближнего и дальнего порядка должны отсутствовать;

Все каналы в пределах микроканальной вставки (МКВ) пластины по своим геометрическим и физико-химическим

Похожие работы