- 1
1СОДЕРЖАНИЕ
1. Физические основы нанесения покрытий методом распыления 3
1.1 Физические основы ионного распыления 3
1.2 Катодное распыление 7
1.3 Магнетронное распыление 9
1.4 Высокочастотное распыление 12
1.5 Получение покрытий распылением в несамостоятельном газовом разряде 13
1.6 Методы контроля параметров осаждения покрытий 15
1.7 Вакуумная металлизация полимерных материалов 19
1.8 Особенности вакуумной металлизации полимерных материалов 21
1.9 Технология вакуумной металлизации полимерных материалов 23
Список использованных источников 27
1. Физические основы нанесения покрытий методом распыления 1.1 Физические основы ионного распыления При взаимодействии быстрых частиц (ионов) с поверхностью твердого тела (мишени) протекает каскад упругих бинарных столкновений, основным результатом которых является передача атомам мишени энергии и импульса. Если переданная атому энергия превышает энергию связи его с остальными, то атом может покинуть поверхность и перейти в газовую фазу. При этом температура мишени значительно ниже температуры испарения материала, из которого она изготовлена.
Так как столкновения атомов имеют упругий характер, то для такой системы выполняются закон сохранения импульса и кинетической энергии. Тогда, в случае взаимодействия иона с неподвижным атомом подложки, представленном на рисунке 1, можно записать ;
, где m, mа – масса иона и атома мишени соответственно;v , v,1–скорость иона до и после взаимодействия; vа – скорость атома мишени после столкновения; – угол рассеяния.
mi, Ei, pi Рисунок 1 – Схема взаимодействия иона с атомом мишениВ результате решения приведенной выше системы уравнений получим следующее выражения для энергии, которую передал ион поверхностному атому в результате столкновения: , (1) где Е – энергия иона.
Анализ выражения (7.8) показывает, что наиболее интенсивно энергообмен происходит при условии равенства масс иона и атома.
Если в качестве бомбардирующей частицы используются электроны, масса которых, как известно, значительно меньше массы атомов, то из (1) получим ,т. е. в этом случае передача энергии неэффективна, так как m
- 1
Похожие работы
Тема: Физические основы нанесения покрытий методом распыления |
Предмет/Тип: Физика (Курсовая работа (т)) |
Тема: Технология нанесения гальванических покрытий |
Предмет/Тип: Другое (Курсовая работа (т)) |
Тема: Устройство электростатического нанесения лакокрасочных покрытий |
Предмет/Тип: Другое (Диплом) |
Тема: Химические способы нанесения металлических покрытий |
Предмет/Тип: Химия (Реферат) |
Тема: Санация трубопроводом методом нанесения цементно-песчаных покрытий |
Предмет/Тип: Технология машиностроения (Реферат) |
Интересная статья: Основы написания курсовой работы