Читать диплом по информатике, вычислительной технике, телекоммуникациям: "Характеристика сучасних електронно-променевих установок" Страница 1

(Назад) (Cкачать работу)

В останні десятиліття набули важливе значення електронні методи обробки матеріалів і виробів, основані на технологічному застосуванні потоків заряджених часток, що пов'язано з розширеним використанням матеріалів зі спеціальними фізико-механічними властивостями і підвищеними вимогами до якості виготовлення машин та апаратів. Особливо широке застосування отримали процеси, в основі яких лежить використання прискорених потоків електронів, що генеруються електронними гарматами. Електронно-променевий нагрів у вакуумі відрізняється високою питомою потужністю, універсальністю, великим ККД і забезпечує проведення технологічних операцій, виконання яких за допомогою інших видів нагріву ускладнено або неможливо.

Сфера застосування електронно-променевих технологій сьогодні охоплює різні галузі, від мікроелектроніки і приладобудування до важкого машинобудування. При цьому, поряд із вдосконаленням конструкцій електронно-променевого устаткування і поліпшенням його технологічних характеристик, спостерігається швидке зростання потужності, що стимулюється такими технологічними процесами, як плавка металів, відпалювання і покриття металевих стрічок, та іншими процесами. Подальший розвиток електронно-променевих методів обробки вимагає розробки надійного, достатньо довговічного і відносно недорогого електронно-променевого устаткування, що пов'язано, насамперед, зі створенням джерел електронів, які відповідають таким вимогам.

Ефективним є застосування ГРЕГ ВТР з анодною плазмою для нанесення покриттів складного складу в реактивному середовищі, яке має переваги перед термокатодними випаровувачами, основною з яких є можливість роботи в різних газових середовищах при середньому вакуумі та часткова іонізація робочих газів, потрапляющих в технологічну камеру через гармату, що в деяких випадках не потребує іонізації додатковим розрядом. Застосування ефективної розв’язки по тиску гармати та технологічної камери дозволяє застосовувати ГРЕГ для напилення плівок металів.

Важливою умовою нормальної роботи ГРЕГ є забезпечення необхідного тиску газу в гарматі та його стабілізація на заданому рівні. Тиск впливає на струм розряду, а також може впливати на геометричні параметри електронного пучка, що пов’язано з змінами конфігурації та напруженості поля в при катодному просторі та процесами зіткнень частинок в газі.

На струм розряду суттєвий вплив можуть виявляти зміни емісійних властивостей катоду в часі під дією іонного бомбардування та процесів в зоні дії електронного пучка. Цей вплив може компенсуватися відповідною зміною тиску або зміною концентрації анодної плазми ВТР з допомогою допоміжного розряду.

Стабілізацію та керування потужністю пучка доцільно виконувати керуючи струмом розряду ГРЕГ при сталій напрузі живлення. При цьому керування струмом можна здійснювати регулюванням тиску в гарматі. Зараз відомі системи автоматичного регулювання тиску в технологічних камерах вакуумних установок або струму розряду технологічних газорозрядних джерел заряджених частинок шляхом напуску газу в вакуумну камеру при безперервній її відкачці, а також виконуючі пристрої, які використовуються або можуть використовуватись в таких.

Втім застосування таких пристроїв для

Похожие работы